ISB　井口機工製作所 : ILS型

ガラス基板搬送用カセットをシンプルに
位置決めするステージユニット。

クリーンルーム用位置決めステージ

ILS型〈特許取得済み〉〈Patented〉

■概要
各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。
G7、G8級に対応した大型タイプや、従来規模の製造ライン改善用に対応した小型タイプなど、世界的な採用が拡大しています。滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、ボールベアーを採用した従来機に比べ、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。
位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。また、可動部をホールドさせることができるSタイプもご用意しております。