クリーンルーム用イグチベアー

ILS型

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概要

ILS型

スムースな動作を実現した可動ステージ。

ILS型可動ステージはスムースな動作と高い耐荷重性能を持ち、ガラス基板搬送用のカセットなどワークの位置決め用途に適しています。任意の位置で可動ステージをホールドすることが出来るタイプや、ステージの高さを調節できる昇降式タイプもラインナップ。

導入事例

製品一覧

フリータイプ

ストッパータイプ

昇降式フリータイプ

昇降式ストッパータイプ

技術情報など