无尘室专用万向球技术信息

无尘室专用万向球的特征
  • 为防止刮伤玻璃基板, 采用DuPont(TM) 的Vespel(R) 及PBI,PEEK 等具有代表性的工程树脂材料。
  • 能够压制微粒粉尘产生,体现ISB 独特的洁净技术。
  • 除了切削成型的高精度ISC 万向球以外,为了大幅度降低成本,各种射出成型的产品也陆续标准化。
  • 从ISB 洗净到无尘室洗净,依照使用环境可提供多样化的脱脂洗净方法。
  • 可提供200度以上的高温、真空泵内、各种区间工程、介意光源反射的光学测定仪器、玻璃本身的切割设备等特殊用途的产品。
  • 按照客户的要求可制作特注品。
※DuPont(TM)及Vespel(R)是杜邦公司的商标或是注册商标。
采用无尘室专用万向球的优点
  • 玻璃基板定位时的摩擦系数仅为Pin支撑方式的1/10,所以即使是大型的玻璃也能轻松准确地完成定位。
  • 与滑动方式的Pin 相比,滚动方式的万向球拥有更长期稳定的低摩擦系数,能轻松完成玻璃基板的对位。
  • 因摩擦系数变小,玻璃基板的破片率会明显降低,使之提高区间工程及各种处理工程的效率。
  • 因磨耗导致与玻璃基板接触部的零部件经常更换的作业,可以大幅度减少,促进提高整体效率。

关于无尘室专用万向球的荷重

无尘室专用万向球的承载荷重是随着客户的需求而变化。有关它的承载荷重请留意以下几点,选型时与客户协商推荐所需的产品。

  • 设备的特性(使用环境等)
  • 相互接触面的材质
  • 移动的距离
  • 移动的速度

无尘室专用万向球的承载荷重是因各种工程及处理设备而有所不同。因此,以面板制造厂家为基准,并参照ISB 过去实绩给予建议。
初次使用无尘室专用万向球时,请以0~1kg承载荷重进行设计规划。

另外,有的使用用途可能与以往的实绩并无关联,详细请与我们联系。


关于导电性万向球的消除静电特性

使LCD用玻璃片带有静电,并各以导电性万向球及标准万向球接触玻璃片,利用静电测试仪器测试电压下降的情形。

B-1: 导电性万向球

(主球表面抵抗率:10^4~10^5)

B-2: 绝缘性万向球

(主球表面抵抗率:10^12以上)

グラフ:静電気電圧の推移

ISC万向球的基本性能

在无尘室的环境下使用的万向球,随着客户的使用方法,从材质的选择或使用荷重上都有所不同,光靠以往对万向球的概念已无法满足新的需求。为了让半导体、FPD制造设备厂家能充分地活用万向球的优点,针对玻璃基板的微调作业,公司内部进行了一连串的试验。

※实际使用时有一定的限制,详细请咨询。

■万向球与PEEK材质Pin的产尘性比较

在无尘室环境中,用万向球或用PEEK材质Pin来支撑FPD玻璃基板,并各自赋予相同的假设重量,经过几次前后数毫米的移动后在液体中测定其产尘量。

测试对象如下
  • PEEK Pin
  • ISB万向球:ISC-10JS-J
  • ISB万向球:ISC-10V1S-J
  • ISB万向球:ISC-16V1V1-V1

万向球与PEEK Pin的产尘性

■万向球与PEEK材质Pin的摩擦系数比较

在一般环境中,用万向球或用PEEK材质Pin来支撑FPD玻璃基板,并在玻璃基板的端面用一定的力量推动时,测定水平方向的推力变化。

万向球与PEEKPin的摩擦抵抗力比较

■万向球の摩擦係数測定調査試験

▲调查目的
测量ISCS-10P1S-J型的摩擦系数。

▲调查内容
用摩擦系数测定仪分别测量万向球一个耐荷重100gf、500gf、1000gf时的摩擦系数。
移动速度:约5mm/min

摩擦系数测试机的简介

调查结果

平均摩擦系数
  • 荷重1000gf时=約0.025
  • 荷重500gf时=約0.021
  • 荷重100gf时=約0.018

荷重別横荷重


脱脂洗净方法
■ISB洗浄

各部件真空超音波洗净(使用了碳氫化合物)
烘干后,佩戴手套组装,塑料个别包装。

■无尘室洗净方法

无尘室洗净流程图

无尘室洗净流程图




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