各制程储藏玻璃的片夹盒,使之轻松完成定位作业的位置决定器。
无尘室专用位置决定器。

ILS型

■概况
各制程储藏玻璃的片夹盒,使之轻松完成定位作业的位置决定器。
适用于7代、8代的大尺寸规格,或为了改善以往小型生产线的小尺寸规格,ILS 的采用实绩日益增多。与万向球支撑的旧机型相比,ILS位置决定器不仅体积简洁,承载荷重大,能全方向移动顺利地完成片夹盒的定位作业。
当释放荷载后,ILS的可动部可迅速恢复至原点等待下一个片夹盒的装载作业。 另外,也可提供可动部利用气压锁定功能的S型定位台。
〈专利产品〉

コラム

ILS-150

ILS-150
自重:1.5kg
可动距离:±15mm
耐荷重:150kgf

 

Draft:ILS-150

ILS-150S

ILS-150S
自重:1.8kg
可动距离:±15mm
耐荷重:150kgf
推荐使用气压:0.2MPa (2 kgf/cm^2)

 

Draft:ILS-150S

コラム


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