クリーンルーム内で使用されるイグチベアーの荷重は、ユーザーの考えによって変わります。ISBとしては、クリーンルーム向けイグチベアーの耐荷重について次の点に留意し、ユーザーと打ち合わせを行った上で仕様をご推奨しております。
クリーンルーム向けイグチベアーにかけられる荷重は、各工程や処理装置により、変わってきます。そのため、パネルメーカーの基準に則して、ISBなりの実績に基づく提案をさせていただいております。
初めて採用をご検討いただく場合は、クリーンルーム向けイグチベアーに対して
『0~1.0kgf』を目安として、設計検討してください。
また、使用用途によっては実績があてはまらない場合も考えられますので、詳しくは担当窓口にご相談ください。
LCD用ガラス片に静電気を帯電させておき、ガラス片に導電性イグチベアー、または通常イグチベアーを接触させた時の電圧降下状況を静電気測定器により測定。
B-1: 導電性イグチベアー
(メインボール表面抵抗率:10^4~10^5)
B-2: 絶縁性イグチベアー(メインボール表面抵抗率:10^12以上)
クリーンルーム内で使用されるイグチベアーはユーザーの考え方やご使用方法で、材料や使用荷重が異なるため、従来のイグチベアーの概念だけでは使用不可となります。
半導体やFPD製造装置で、イグチベアーの利点を活用していただくための目安として、ガラス基盤のアライメントを想定し、社内試験を行いました。
※ 実際に使用する場合には、一定の制限がありますので、詳しくは担当窓口にご相談ください。
クリーンブース内において、FPD用ガラス片をイグチベアー、またはPEEKピンで支え、それぞれの想定荷重をかけて、前後に数ミリ移動させた時の発塵性を液中パーティクルカウンターを用いて測定。
一般環境においてFPD用ガラスを数個のイグチベアー、またはPEEKピンで支え、ガラス基盤の端面を、一定の力で押した時の水平方向荷重をロードセルにより測定。
▲調査目的
ISCS-10P1S-J型の摩擦係数測定を行う。
▲調査内容
摩擦係数測定器にて検体イグチベアー1個当たり100gf時、500gf時、1000gf時の荷重条件下で摩擦係数を測定。
移動速度:約5mm/min
▲調査結果