
■クリーンルーム用ボールベアーとは
クリーンルーム向けボールベアーは、半導体や FPD(液晶・PDP・有機 EL 等)の製造ラインで、従来とは違う方法を提供するために開発された機能部品です。
クリーンルーム内で使用されるボールベアーは、お客様の考え方や使用方法で材料や使用荷重が異なるため、従来のボールベアーの概念だけでは使用不可となります。
ワークを水平方向360度自在に位置決めできるボールベアーの特長を、最大限利用していただくために、ユーザーの立場に立った製品開発を行っており、新たな可能性を提供します。
オール樹脂製クリーンルーム用ボールベアー。フランジタイプとネジタイプの2種類の取付タイプを用意。

バッファー部におけるカラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニット。可動部をホールドすることができるSタイプも用意。

クリーンルーム用のエアボールリフタ。シングルピストンタイプ。クリーンルーム内における重量ユニットの搬送や位置決めシステムに幅広く対応。

クリーンルーム用のエアボールリフタ。ダブルピストンタイプ。クリーンルーム内における重量ユニットの搬送や位置決めシステムに幅広く対応。
